真空度測試儀的測試原理

真空度測試儀的測試原理

  利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同，來測試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。

  將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距，動觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流。由于漏電電流非常弱，易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此，必須通過勵磁線圈繞于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場來加速離子流，按比例放大采樣率。這樣，在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運(yùn)動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于直徑不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后，調(diào)用內(nèi)部相對應(yīng)的比例參樣，加以運(yùn)算，得出準(zhǔn)確真實真空度值。也就是說通過查詢該管型的離子電流——真空度曲線獲得該管型的真空度，這一過程由計算機(jī)自動完成。